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[实用新型]热冲击试车台-CN202220037980.2有效
发明人：周培好;孙菁微;陶立进 -专利权人：北京航天三发高科技有限公司
申请日： 2022-01-09 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： G01N3/60 文献下载
摘要：一种热冲击试车台，包括依次连通的进气系统，试验段和排气系统；试验段包括连通的测试段和建压段；进气系统包括主气路和并联设置的热气源供给路和冷气源供给路；沿气体流动方向，热气源供给路上依次设置有热气源供给路流量计，热气源供给路气动球阀，热气源供给路第一加热器，热气源供给路第二加热器和热气源供给路测量段；冷气源供给路的出口与测试段的入口连通，沿气体流动方向，冷气源供给路上依次设置有冷气源供给路流量计，冷气源供给路气动球阀，冷气源供给路加热器，冷气源供给路掺混器和冷气源供给路测量段；冷气源供给路设置有冷气源供给掺混路，冷气源供给掺混路入口与主气路的出口连通，出口与冷气源供给路掺混器连通。
冲击试车

[实用新型]一种热冲击试车台-CN202220038001.5有效
发明人：周培好;孙菁微;陶立进 -专利权人：北京航天三发高科技有限公司
申请日： 2022-01-09 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： G01N3/60 文献下载
摘要：一种热冲击试车台，包括依次连通的进气系统，试验段和排气系统；进气系统包括气源，主气路和并联设置的热气源供给路和冷气源供给路；沿气体流动方向，热气源供给路上依次设置有热气源供给路流量计，热气源供给路气动球阀，热气源供给路第一加热器，热气源供给路第二加热器和热气源供给路测量段；冷气源供给路的出口与测试段的入口连通，沿气体流动方向，冷气源供给路上依次设置有冷气源供给路流量计，冷气源供给路气动球阀，冷气源供给路加热器和冷气源供给路测量段
一种冲击试车

[发明专利]气源供给装置和方法-CN200810094831.4有效
发明人：李炳一;张泽龙 -专利权人：泰拉半导体株式会社
申请日： 2008-04-28 - 公布日： 2008-11-05 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明提供一种气源供给装置和方法，由化学蒸镀法进行薄膜蒸镀时使用。本发明涉及的气源供给装置(100)包括：源物质储存部(20)，储存作为气源的原料的源物质(22)；源物质蒸发部(30)，对源物质(32)进行加热从而产生气源；源物质供给管(40)，将源物质储存部(20)所储存的源物质(22)供给到源物质蒸发部(30)；以及，源物质控制部(42)，为了将规定量的源物质(32)供给到源物质蒸发部(30)而设置在源物质供给管(40)上。
供给装置方法

[发明专利]蒸气压稳定的MO源装置及蒸气压稳定的MO源供给方法-CN202210436515.0在审
发明人：闫其昂;王国斌;周溯沅 -专利权人：江苏第三代半导体研究院有限公司
申请日： 2022-04-25 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明公开了一种蒸气压稳定的MO源装置及蒸气压稳定的MO源供给方法。所述蒸气压稳定的MO源装置包括：第一MO源供给单元，用于以固态MO源向所述第二MO源供给单元补充MO源蒸气；第二MO源供给单元，用于以MO源溶液向外延生长设备内提供MO源蒸气；载气缓冲单元，至少用于使自第二MO源供给单元输出的载气中携带的溶剂与载气分离；控制单元，与所述第一MO源供给单元、第二MO源供给单元、载气缓冲单元连接，并至少用于调节所述第一MO源供给单元、第二MO源供给单元、载气缓冲单元的工作状。本发明提供的蒸气压稳定的MO源装置，可以弥补MO源溶液中固态MO源的消耗，维持MO源溶液中的蒸气压稳定，进而提高外延生长工艺稳定性。
蒸气稳定 mo 装置供给方法

[发明专利]外部供电机及外部供电系统-CN202210165963.1在审
发明人：北本良太 -专利权人：本田技研工业株式会社
申请日： 2022-02-21 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： H02J7/00 文献下载
摘要：本发明要解决的问题是，即使在没有电气设施的场所，仍不中断地对外部负载供给电力。为了解决上述问题，本发明提供一种外部供电机，可与多个电力供给源连接，且包括：多个连接口，与多个电力供给源中的每一个电力供给源连接；连接状态获取部，获取与多个连接口中的每一个连接口的电力供给源的连接状态；供电状态获取部，获取来自多个电力供给源的供电状态；及，切换部，当由连接状态获取部检测出连接至少两个以上电力供给源时，从所连接的电力供给源中的一个电力供给源接受供电，并基于由供电状态获取部所获取的一个电力供给源的供电状态，切换为由其他电力供给源进行供电。
外部电机供电系统

[发明专利]一种发动机试车台-CN201811164299.9在审
发明人：王文彬;康宏博;李强;徐元元 -专利权人：北京航天三发高科技有限公司
申请日： 2018-10-05 - 公布日： 2019-01-04 - 主分类号： G01M15/14 文献下载
摘要：一种发动机试车台，包括供给源，温度模拟单元，模拟舱和排气引射器；供给源包括燃油供给源，氧气供给源，发动机进气供给源，酒精供给源和引射器主动气流供给源；温度模拟单元包括管体和壳体，管体位于壳体内部，管体内为第一介质通道，管体的外壁与壳体的内壁之间的空间形成第二介质通道；被试发动机位于模拟舱内；燃油供给源通过管路与被试发动机连通，氧气供给源和发动机进气供给源分别通过管路与第二介质通道的入口连通，第二介质通道的出口通过管路与被试发动机的进气口连通，酒精供给源经过点火器后通过管路与第一介质通道的入口连通，引射器主动气流供给源通过管路与排气引射器连通，排气引射器穿过模拟舱靠近被试发动机的排气管。
供给源介质通道发动机连通排气引射器模拟舱管体温度模拟单元发动机进气氧气供给源气流供给燃油供给试车台引射器壳体酒精点火器进气口壳体内部空间形成排气管内壁外壁体内穿过出口

[实用新型]一种发动机试车台-CN201821618634.3有效
发明人：王文彬;康宏博;李强;徐元元 -专利权人：北京航天三发高科技有限公司
申请日： 2018-10-05 - 公布日： 2019-06-25 - 主分类号： G01M15/14 文献下载
摘要：一种发动机试车台，包括供给源，温度模拟单元，模拟舱和排气引射器；供给源包括燃油供给源，氧气供给源，发动机进气供给源，酒精供给源和引射器主动气流供给源；温度模拟单元包括管体和壳体，管体位于壳体内部，管体内为第一介质通道，管体的外壁与壳体的内壁之间的空间形成第二介质通道；被试发动机位于模拟舱内；燃油供给源通过管路与被试发动机连通，氧气供给源和发动机进气供给源分别通过管路与第二介质通道的入口连通，第二介质通道的出口通过管路与被试发动机的进气口连通，酒精供给源经过点火器后通过管路与第一介质通道的入口连通，引射器主动气流供给源通过管路与排气引射器连通，排气引射器穿过模拟舱靠近被试发动机的排气管。
供给源介质通道发动机连通排气引射器模拟舱管体温度模拟单元发动机进气氧气供给源气流供给燃油供给试车台引射器壳体酒精点火器进气口壳体内部空间形成排气管内壁外壁体内穿过出口

[实用新型]热冲击试验台-CN202220038006.8有效
发明人：陶立进;孙菁微 -专利权人：北京航天三发高科技有限公司
申请日： 2022-01-09 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： G01N3/60 文献下载
摘要：一种热冲击试验台包括依次连通的进气系统，试验段和排气系统；试验段包括连通的测试段和建压段；进气系统包括气源，主气路和并联设置的热气源供给路，热气源供给路放气路，冷气源供给路和冷气源供给路放气路；主气路的入口与气源连通，并联设置的热气源供给路，冷气源供给路的入口均与主气路的出口连通，出口均与测试段连通；热气源供给路放气路的入口与位于热气源供给路第二加热器和掺混器的热气源供给路连通,冷气源供给路放气路的入口主气路的出口连通
冲击试验台

[实用新型]蒸气压稳定的MO源装置-CN202220974651.0有效
发明人：闫其昂;王国斌;周溯沅 -专利权人：江苏第三代半导体研究院有限公司
申请日： 2022-04-25 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种蒸气压稳定的MO源装置。所述蒸气压稳定的MO源装置包括：第一MO源供给单元，用于以固态MO源向所述第二MO源供给单元补充MO源蒸气；第二MO源供给单元，用于以MO源溶液向外延生长设备内提供MO源蒸气；载气缓冲单元，至少用于使自第二MO源供给单元输出的载气中携带的溶剂与载气分离；控制单元，与所述第一MO源供给单元、第二MO源供给单元、载气缓冲单元连接，并至少用于调节所述第一MO源供给单元、第二MO源供给单元、载气缓冲单元的工作状。本实用新型提供的蒸气压稳定的MO源装置，可以弥补MO源溶液中固态MO源的消耗，维持MO源溶液中的蒸气压稳定，进而提高外延生长工艺稳定性。
蒸气稳定 mo 装置

[发明专利]一种发动机试车台进气系统-CN201811164300.8在审
发明人：许海涛;康宏博;李强;徐元元 -专利权人：北京航天三发高科技有限公司
申请日： 2018-10-05 - 公布日： 2019-01-04 - 主分类号： G01M15/02 文献下载
摘要：一种发动机试车台进气系统，包括供给源，温度模拟单元和模拟舱；供给源包括燃油供给源，氧气供给源，发动机进气供给源和酒精供给源；温度模拟单元包括管体和壳体，管体位于壳体内部，管体内为第一介质通道，管体的外壁与壳体的内壁之间的空间形成第二介质通道；被试发动机位于模拟舱内；燃油供给源通过管路与被试发动机连通，氧气供给源和发动机进气供给源分别通过管路与第二介质通道的入口连通，第二介质通道的出口通过管路与被试发动机的进气口连通，酒精供给源经过点火器后通过管路与第一介质通道的入口连通
供给源介质通道发动机连通管体温度模拟单元发动机进气氧气供给源进气系统燃油供给模拟舱试车台壳体酒精点火器进气口壳体内部空间形成内壁外壁体内出口

[实用新型]一种发动机试车台进气系统-CN201821618614.6有效
发明人：许海涛;康宏博;李强;徐元元 -专利权人：北京航天三发高科技有限公司
申请日： 2018-10-05 - 公布日： 2019-06-25 - 主分类号： G01M15/02 文献下载
摘要：一种发动机试车台进气系统，包括供给源，温度模拟单元和模拟舱；供给源包括燃油供给源，氧气供给源，发动机进气供给源和酒精供给源；温度模拟单元包括管体和壳体，管体位于壳体内部，管体内为第一介质通道，管体的外壁与壳体的内壁之间的空间形成第二介质通道；被试发动机位于模拟舱内；燃油供给源通过管路与被试发动机连通，氧气供给源和发动机进气供给源分别通过管路与第二介质通道的入口连通，第二介质通道的出口通过管路与被试发动机的进气口连通，酒精供给源经过点火器后通过管路与第一介质通道的入口连通
供给源介质通道发动机连通管体温度模拟单元发动机进气氧气供给源进气系统燃油供给模拟舱试车台壳体酒精点火器进气口壳体内部空间形成内壁外壁体内出口

[发明专利]源气体供给装置-CN200810212763.7无效
发明人：张泽龙;李炳一;李永浩;张锡弼;张熙燮 -专利权人：泰拉半导体株式会社
申请日： 2008-09-04 - 公布日： 2009-03-11 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明提供一种在采用化学气相沉积法进行的薄膜蒸镀时，气化作为原料的源物质而进行供给的源气体供给装置。本发明的源气体供给装置(100)的特征在于，包括加热源物质(120)以生成源气体的源物质蒸发部(110)、以及源气体在流入蒸镀室之前待机的待机室(150)，而且在待机室(150)内设有源气体得以沉积的沉积板根据本发明，可以准确地控制流入蒸镀室内的源气体的量，从而在薄膜蒸镀时可以有效地调节蒸镀室内的蒸镀压力。
气体供给装置

[发明专利]源气体供给装置-CN200810095708.4无效
发明人：许官善;李永浩;李炳一;张泽龙 -专利权人：泰拉半导体株式会社
申请日： 2008-04-24 - 公布日： 2008-10-29 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：提供一种源气体供给装置，将作为基于化学蒸镀法的薄膜蒸镀时的原料的固体状的源物质气体化，供给到蒸镀室内。本发明涉及的源气体供给装置，包括加热源物质而生成源气体的源物质蒸发部(21)和向上述源物质蒸发部(21)供给使上述源气体运输到蒸镀室的输运气体的输运气体供给部(24)，且在源物质蒸发部(21)内，设置有抑制源物质通过输运气体而移动到源物质蒸发部
气体供给装置

[发明专利]源气体供给装置-CN200980138274.4无效
发明人：李炳一;张锡弼;朴暻完;宋钟镐 -专利权人：泰拉半导体株式会社
申请日： 2009-09-30 - 公布日： 2011-08-24 - 主分类号： H01L21/205 文献下载
摘要：一种采用化学气相沉积法进行薄膜蒸镀时将源物质进行气化并供给蒸镀室的源气体供给装置。该源气体供给装置(200)包括：源气体生成部(210)，加热源物质而生成源气体；源气体凝结部(240)，使在源气体生成部生成的源气体流入并被凝结；在此，使源气体从源气体生成部(210)流入源气体凝结部(240)，并且在源气体凝结部(240)凝结源气体，直至在源气体凝结部(240)凝结的源气体的凝结量达到饱和凝结量为止；当在源气体凝结部(240)内凝结的源气体的凝结量达到饱和凝结量之后，阻断源气体从源气体生成部(210)流入源气体凝结部(240)，使在源气体凝结部(240)内凝结的源气体流入蒸镀室(250)。
气体供给装置

[发明专利]成膜方法-CN200910000288.1无效
发明人：长谷川敏夫 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2004-02-12 - 公布日： 2009-07-01 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明提供一种成膜方法，在能真空抽吸的处理容器内在被处理体的表面形成金属氮化膜，该成膜方法包括：向处理容器内连续地供给惰性气体的工序；和在惰性气体的连续的供给工序中，向处理容器内间歇地供给金属源气体的工序；在金属源气体的间歇的供给工序中，在金属源气体的供给期间中，在供给金属源气体的同时向处理容器内供给含氮还原气体的工序；和在金属源气体的间歇的供给工序中，在金属源气体的间歇期间中，在比该金属源气体的间歇期间短的期间向处理容器内供给上述含氮还原气体的工序，其中在金属源气体的供给期间中供给含氮还原气体的期间，与在金属源气体的间歇期间中供给含氮还原气体的期间不接续。
方法

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